陰極熒光探測系統 SPARC

快速靈敏準確

陰極熒光探測系統 SPARC 是 Delmic 公司制造的高性能陰極熒光探測系統。這個系統能夠最大的收集和探測陰極熒光光線,它能在納米尺度快速和敏感的表征材料。SPARC 系統可以做為掃描電鏡的一個附件,它為電子束誘導的納米光子學開啟了新的研究方向.

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產品詳情

特點規格應用圖庫

模塊化設計

陰極熒光探測系統 SPARC 有非常開放的設計,大多數標準的光學部件都可以添加進它的光學盒子,這允許在將來對系統進行升級或添加其它探測部件,如過濾輪,偏振濾波片,和針孔光闌。

 

卓越的敏感性?

鏡子固定在一個高精度平臺上,可以跟電子束進行準確的對中,鏡子是用特種鋁制作的,它的微小顆粒能確保鏡子的平度,增強反射和減少加工缺陷。

重復性

鏡子的高精度平臺確保在不同的試驗中恰當的對中,能夠在不同樣品間進行重復性的和大數量的可比性測量。

 

陰極熒光探測系統 SPARC

陰極熒光探測系統 SPARC 在軟件和硬件都跟掃描電鏡緊密的整合,它以最大程度減少對電鏡影響的方式安裝在掃描電鏡上。能夠在少于 5 分鐘內,將掃描電鏡返回到全部初始狀態。軟件可以直接和方便的進行對中,采集和分析結果。軟件能控制電子束采集電子圖像和恰當的觸發光學采集,對于更深入的分析,數據也能容易的轉入到軟件包的一部分 Matlab 里。

下載手冊

重要規范和選項
在采集過程中的主要特征 在分析方面的特征
漂移校準 容易從 2D 拼圖和像素圖中評價光譜
同時采集二次電子,譜圖和角分辨像 有角分辨圖像的中間極坐標圖
使用任意數量像素,任意大小的網格來簡單的獲得譜圖 觀察光譜和電子疊加圖像
簡單的獲得大數量的角分辨像 使用校準文件(例如系統響應功能)一次獲取超清晰光譜
  很方便將數據轉入 MATLAB 做進一步細致的分析

 

陰極熒光探測系統

陰極熒光探測系統 SPARC 是 荷蘭 Delmic 公司制造的高性能陰極熒光探測系統。這個系統能夠最大程度的收集和探測陰極熒光光線,能在納米尺度快速和敏感地表征材料。陰極熒光探測系統 SPARC 由荷蘭 AMOLF 研究所的波爾曼團隊研發,它可以做為掃描電鏡的一個附件。陰極熒光探測系統 SPARC 在模塊化,敏感度和重復性上具有獨特的優勢,它為電子束誘導的納米光子學開啟了新的研究方向,由于它的敏感性和易于使用擴展了傳統陰極熒光的應用。

陰極熒光探測系統 SPARC 可以在表面等離子體光子學研究中應用,電子束用來激發納米結構,探頭隨后用來探測產生的陰極熒光,更高的探測效率不僅可以獲得更好的結果,而且還能做全新的納米光子學和角分辨的研究,通過新的探測方法,從受激結構中射出光線的方向可以用來拼圖。由電子束激發的光線能夠被拋物線鏡子收集并在掃描電鏡真空樣品倉外耦合。用戶可以選擇是能夠進行角度分辨測量的二維圖像還是光譜圖。

 

譜圖模式

當陰極熒光探測系統 SPARC 使用譜圖模式,從鏡子過來的光線被聚焦在光纖上,光纖連接在切爾尼-特納光譜儀上,一個在 400-900nm 具有最佳探測效率的硅探測器連接在光譜儀上。通過電子束在樣品上掃描,從而產生超光譜圖。

角度模式

陰極熒光探測系統 SPARC 提供了獨特的獲取角分辨圖像,同將光學聚焦在光纖上不同,鏡子上的圖像被投影在成像相機上,這允許探測發射光的方向,也被稱作動量譜。在這種模式下,過濾輪被用來從不同的發射波長區分光譜。

偏振模式

使用起偏器可以將偏振方向進行分離,并在角分辨像中對納米光子應用中分離的振子取向進行探測。

 

  • 陰極熒光探測系統 SPARC

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